| 全部作者 | 李水彬 |
|---|---|
| 论文名称 | Systematic Applications of Multivariate Analysis to Monitoring of Equipment Health in Semiconductor Manufacturing |
| 研讨会名称 | Proceedings of the 2008 winter simulation conference |
| 举行地点 | NATUSA-美国迈阿密 |
| 会议开始时间 | 2008-12-07 |
| 会议结束时间 | 2008-12-10 |
| 作者顺序 | 第二作者 |
