| 全部作者 | 李水彬 |
|---|---|
| 論文名稱 | Systematic Applications of Multivariate Analysis to Monitoring of Equipment Health in Semiconductor Manufacturing |
| 研討會名稱 | Proceedings of the 2008 winter simulation conference |
| 舉行地點 | NATUSA-美國邁阿密 |
| 會議開始時間 | 2008-12-07 |
| 會議結束時間 | 2008-12-10 |
| 作者順序 | 第二作者 |
